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        5軸潔凈機械手臂(真空水平多關節型)

        深圳市衡鵬瑞和科技有限公司 (v1222941.skxox.com)

        5軸潔凈機械手臂(真空水平關節型)

        5軸真空水平多關節型潔凈機械手臂特點:

        5軸真空水平多關節型潔凈機械手臂GTVCR5000系列

        實現了下降價格,但是也可以維持以前的GTVHR5000系統的機能,功能

        能夠在真空環境下對應并排擺放的腔室工作臺布局,能夠靈活地適應不同類型設備的多種布局

        通過優化機械手臂的空間尺寸,有利于減小真空腔室的內部容積

        非常適合inline設備

        機械手臂標準臂長:280mm, 330mm

        手臂關節處使用磁流體密封裝置

        真空密封:磁流體密封裝置以及波紋管

        提高潔凈度的方法:手臂內部排氣口安裝5μm級過濾器

        雙手指機構能夠縮短更換晶圓時的手臂動作時間

        配備動作監視器

        控制通訊方式:RS232C及并口I/O方式

        全軸采用絕對值編碼器規格的AC伺服電機

        S曲線加減速控制方式能夠高速,高精度地搬運半導體晶圓

        手指材質:CFRP(碳纖維),鋁合金,高純度陶瓷等多種可選材質

        晶圓固定方式:下托式,利用晶圓自重的邊緣夾持式,利用O型膠圈的摩擦力來保持位置

        可以針對搬運物體,客戶設備布局的實際情況提供最優的手指

        5軸真空水平多關節型潔凈機械手臂基本參數:

        使用環境 潔凈間內的大氣:溫度 15°C-40°C

        工藝室溫度 最大450°C

        手臂 單臂

        到達距離 635mm (手臂第3關節中心基準)

        升降軸最大行程 60mm

        可搬運質量 4kg (手臂第3關節處基準)

        如需詳細產品參數 請聯系我們衡鵬

        http://www.hapoin.com/wafer_transfer_robot/gtvcr5330.htm

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