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        圓柱坐標潔凈_3軸機械手臂

        深圳市衡鵬瑞和科技有限公司 (v1222941.skxox.com)

        圓柱坐標潔凈_3軸機械手臂

        圓柱坐標潔凈_3軸機械手臂特點:

        超潔凈無塵間用300mm晶圓對應MCR3000C系列

        適用于半導體生產設備內部,檢測設備等的晶圓搬運

        全軸采用AC伺服電機滿足高速搬送的需求

        比MHR系列具有更好的性價比優勢

        機械手臂標準臂長:160mm, 200mm

        適應設備需求可以選擇底座固定方式,或者法蘭固定方式

        配備動作監視器

        控制通訊方式:RS232C及并口I/O方式

        全軸采用絕對值編碼器規格的AC伺服電機

        S曲線加減速控制方式能夠高速,高精度地搬運半導體晶圓

        晶圓固定方式:真空吸附式,下托式,邊緣夾持式,伯努利非接觸式

        手指材質:CFRP(碳纖維),鋁合金,高純度陶瓷等多種可選材質

        可以針對被搬運物體種類,設備布局等要求提供最優的手指

        3軸圓柱坐標潔凈機械手臂基本參數:

        使用環境 潔凈間內的大氣環境

        手臂 單臂

        到達距離 400mm (手臂第3關節中心到達距離)

        升降軸最大行程 300mm / 400mm / 500mm

        可搬運質量 4kg (手臂第3關節處基準)

        如需詳細產品參數 請聯系我們衡鵬

        http://www.hapoin.com/wafer_transfer_robot/

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